15家国内外复合集流体真空镀膜设备企业盘点

官网：https://www.appliedmaterials.com/cn/zh_cn.html

应用材料公司（Applied Materials，简称 AMAT） 成立于1967年，总部位于美国加州硅谷圣克拉拉，是全球规模最大、产品线最广的半导体设备供应商之一，被誉为“半导体设备巨头”。

主营业务向半导体、显示器及相关行业提供制造设备、服务和软件，在半导体领域的主要产品为芯片制造领域的各种制造设备。

官网：https://www.ulvac.co.jp/en/

日本爱发科（ULVAC）成立于1952年，是全球知名的真空技术综合企业，专注于真空泵、真空镀膜机、低温泵等设备的研发与制造。其真空镀膜设备广泛应用于半导体、平板显示（OLED）、光学、电容器、光伏及精密电子等领域。

爱发科商贸（上海）有限公司自成立后，先后在北京、深圳、大连、苏州、成都、合肥、西安、鄂尔多斯、武汉、厦门、重庆和广州开设了分公司和服务中心，今后还将根据客户工厂投资情况不断优化爱发科在全国的客户服务据点分布，持续为客户提供完善的售后服务保障。应用于电子半导体、FPD、新能源、真空系统配套设备以及先端材料等各个不同领域，是最专业的真空薄膜综合解决方案提供商。

官网：https://www.leybold.cn/zh-cn

德国莱宝（Leybold）是真空技术领域的先驱和全球领先品牌，成立于1850年，总部位于德国科隆。2016年，莱宝被瑞典阿特拉斯·科普柯集团（Atlas Copco Group）收购，成为其真空技术业务板块的核心品牌。莱宝的产品广泛应用于对真空环境要求严苛的多个高精尖和工业领域，包括：半导体与光伏、真空镀膜、分析仪器（如质谱仪、电子显微镜）、真空冶金、食品加工与包装、科研与研发等。

官网：https://www.hcvac.com/

以真空镀膜技术及成膜工艺为核心，生产的真空镀膜设备应用领域广泛，目前已应用于智能手机、屏幕显示、光学镜头等消费电子领域，以家居建材和生活用品为主的其他消费品领域，航空、半导体、核工业、工模具与耐磨件、柔性薄膜等工业品领域，以及高校等。

官网：https://www.douson.cn/

苏州道森钻采设备股份有限公司成立于2001年，位于江苏省苏州市，是一家集研发、设计、制造、销售、服务为一体的油气开发设备制造商。公司于2015年在上交所挂牌上市。道森股份在超精密真空镀膜设备领域布局广泛，主要产品包括真空磁控溅射镀膜机、真空磁控溅射蒸发复合镀膜机和真空蒸发镀膜机。

2022年起，公司通过收购洪田科技，切入锂电铜箔设备领域，主要产品包括高效溶铜罐、生箔机、阴极辊、阳极板等，服务于新能源锂电池材料及5G电子信息产品领域。

官网：https://www.ksdwgroup.com/

昆山东威科技股份有限公司成立于2005年12月。公司20余年电子电路电镀领域精耕细作，长期致力于专用精密电镀装备的研发、设计、制造和销售，已成为国内外高端精密电镀装备制造头部企业，并于2021年在上海证券交易所科创板上市。

昆山东威科技股份有限公司的真空镀膜设备主要涵盖磁控溅射（PVD）和真空蒸发卷绕两大类，广泛应用于锂电复合铜膜、柔性薄膜、光伏及玻璃基等领域。

官网：https://www.leadintelligent.com/

无锡先导智能装备股份有限公司成立于2002年，总部位于江苏无锡，是全球领先的新能源智能制造解决方案服务商。真空镀膜设备主要应用于新能源（锂电池、固态电池）和光伏（钙钛矿）等前沿领域，涵盖磁控溅射、高真空蒸发、真空镀锂等多种技术路线，设备以高良率、高效率和智能化为特点，可根据客户特定需求进行个性化定制。

官网：https://www.chinasc.com.cn/

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司成立于2003年，于2018年在深交所创业板上市，是国内光伏电池设备领域的绝对龙头和平台型装备企业。

捷佳伟创的真空镀膜设备是其核心产品之一，覆盖光伏（钙钛矿、HJT、TOPCon等）和新能源（复合集流体）等多个领域，具备多技术融合、高均匀性、高良率等特点。

官网：http://www.szhech.com/

深圳新益昌科技股份有限公司成立于2006年，总部位于广东省深圳市，是一家专注于LED、半导体、电容器、锂电池等行业智能制造装备研发、生产、销售与服务的高新技术企业。公司于2021年4月在上海证券交易所科创板上市。

设备类型：复合铝箔卷绕镀膜机、复合铜箔卷绕镀膜机（如XHDL-1350复合溅射高速成膜卷绕镀膜机）。

核心特点：采用干法工艺或复合溅射工艺，实现“一步法”一次性双面镀膜，形成“PVD金属-高分子支撑层-PVD金属”三明治结构，解决薄膜快速沉积难题，提升生产效率并提高产品安全性。

适用场景：在PET/PP等柔性薄膜表面沉积铜/铝等金属膜层，广泛应用于新型锂电池（复合集流体）的生产制造。

官网：https://www.tsvacuum.cn/

广东腾胜科技创新有限公司（腾胜科技）是一家深耕真空镀膜高端装备制造领域20余年的国家级高新技术企业，其产品线涵盖真空镀膜设备、半导体沉积设备、锂电池材料设备等，广泛应用于新能源、光学、半导体、消费电子、汽车、航空航天等多个行业。

公司主要产品包括：连续镀膜生产线、卷绕式真空镀膜设备、光学镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、电弧离子镀膜设备、蒸发镀膜设备、 PECVD化学气相沉积设备等产品。

官网：http://www.highgreat.com/

四川海格锐特科技有限公司（Highgreat）成立于2018年，位于四川省成都市，是一家专注于复合集流体装备研发制造的国家高新技术企业。是一家专注于复合集流体装备研发制造的国家高新技术企业，其真空镀膜设备主要应用于新能源电池材料（复合铜箔/铝箔集流体）、柔性电路板、高反射膜及包装材料等领域。其核心设备主要包括磁控溅射卷绕镀膜机、高真空卷绕镀膜机和感应加热卷绕镀膜机。

官网：http://hdzk.com.cn/application/info.aspx?itemid=78

湘潭宏大真空技术股份有限公司（简称“宏大真空”）成立于2003年，位于湖南省湘潭市九华经济区，是一家集研发、设计、制造、技术服务于一体的真空镀膜全领域解决方案供应商，国内高端真空镀膜设备领域的“隐形冠军”和龙头企业。

该公司主营业务为大型连续镀膜生产线为主的各类真空镀膜设备研发、设计、生产、销售及技术服务，主要包括建筑装饰玻璃连续镀膜生产线、平板显示导电膜玻璃连续镀膜生产线、非晶硅薄膜太阳能电极连续镀膜生产线、装饰连续镀膜生产线等。

官网：https://www.zhenhuavacuum.com/

广东振华科技股份有限公司（振华真空）始创于1992年，总部位于广东省肇庆市，是一家集研发、生产、销售、服务于一体的综合型真空镀膜设备制造商。公司深耕真空镀膜行业30余年，是国家级专精特新“小巨人”企业、广东省高新技术企业。

主营业务包括真空设备制造与销售，技术服务与支持，主要产品有蒸发系列镀膜设备、磁控系列镀膜设备、光学系列镀膜设备、连续性镀膜生产线以及其他真空设备等。

官网：https://www.cdguotai.com/

成都国泰真空设备有限公司（简称“国泰真空”）成立于2013年6月，总部位于四川省成都市温江区，是一家专注于真空镀膜设备研发、制造与销售的高新技术企业，也是四川省“专精特新”中小企业。

2025年12月，国泰真空被北方华创科技集团股份有限公司收购90%股权，成为北方华创集团的重要成员。产品覆盖光学镀膜、磁控溅射、碳膜制备、卷绕镀膜等多个领域，广泛应用于光学、半导体、消费电子、新能源、航空航天等行业。

官网：http://www.grvacuum.com/

无锡光润真空科技有限公司（简称“光润真空”）成立于2016年，位于江苏省无锡市，是一家从事真空镀膜设备研发、设计、销售、制造、服务于一体的综合性高科技公司，是国内较早从事柔性复合材料真空磁控溅射设备的企业。

复合集流体镀膜设备：复合集流体磁控溅射卷绕镀膜机、双面磁控卷绕镀膜机等，产品广泛应用于新能源（锂电池复合集流体）、消费电子、电子材料等行业。

其他真空镀膜设备：产品线覆盖磁控溅射真空镀膜设备、蒸发镀膜专用设备、多弧离子真空镀膜设备、DLC和硬质膜层专用设备等，广泛应用于精密光学、包装、半导体、医疗、汽车等领域。

信息来源：艾邦综合整理，如有错漏，欢迎加群交流补充～

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