近日，由北京大学深圳研究生院联合劲嘉集团、深圳后浪实验室共同研制的高功率磁控溅射连续生产设备研发取得新突破，科研机构拟将复合集流体材料由研发型设备试生产阶段推向批量生产阶段。
设备全景
该设备具有自主知识产权，于2025年6月17日通过验收，完成了“高速高质量卷对卷真空连续生产线设备”研发闭环，打通了复合集流体生产的产业瓶颈，填补了国内外高功率磁控溅射生产设备的空白，标志着新能源电池核心装备领域取得突破，成为北大“新工科”建设过程中“产学研合作”的标志性成果之一。
记者采访获悉，该成果同时获得深圳市技术攻关重大项目支持，首次采用北京大学新材料学院吴忠振团队自主研发的持续高功率磁控溅射技术，成功突破新能源电池用复合集流体生产中的效率与质量瓶颈——该设备是国内首台可实现复合集流体“一步磁控溅射法”正反双面镀膜（厚度>1μm）的连续生产设备，其工艺简单、生产效率高，各项性能指标均达设计标准，具备显著市场竞争力。
深圳后浪实验室主任、北京大学副教授、博士生导师吴忠振介绍，该设备研发积累的原始技术同样可以应用于高端双层挠性覆铜板（FCCL）、金属网格镀膜（Metal Mesh）、电磁屏蔽镀膜等多个工业领域，具有广阔的市场前景。尤其是在FCCL领域，目前国际上只有少数企业拥有规模生产和供应能力，严重“卡住”我国在未来5G、无人驾驶、微波通信等领域发展与布局。
由于专利封锁，我国开发FCCL只能依赖磁控溅射和电镀技术，结合力较差，且对环境造成严重污染。鉴于此，科研团队将继续利用持续高功率磁控溅射技术的高能量和高效率的特点，持续突破聚酰亚胺（PI）、聚四氟乙烯（PTFE）等高稳定薄膜材料表面活化方法，并开发多辊多模块的卷对卷（Roll-to-Roll）连续生产设备，实现FCCL的稳定生产，有望打破技术封锁，改善环境，降低成本。
深圳后浪实验室技术转移转化负责人、深圳市高级职业技术经理人牛宏伟介绍，“作为高校硬科技成果转化蹚出自己发展之路的代表，深圳后浪实验室首先针对资本追求短期收益而硬科技转化需要一定周期的天然矛盾，在成立之初就坚持以后浪精神，探索技术主导的产业孵化道路，坚持以企业需求为导向、以企业发展面临的技术问题为牵引，真正做到与企业合作进行联合技术攻关进而推动技术转化。
以校企合作研发的高功率磁控溅射连续生产设备为例，它阐释了企业方出题，技术方解题，同时争取政府资源的需求解决逻辑，最终在企业、政府以及高校的共同努力下，推动核心技术的突破，探索了以企业需求为牵引、技术主导为主线的高校硬科技成果转化有效模式。”
来源：深圳后浪实验室、北京大学深圳研究生院
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